高真空擴散泵的工作原理主要分兩個部分
更新時間:2023-03-15 點擊次數(shù):2989
高真空擴散泵是一種常用的真空泵,其主要運用于對于高真空的抽取任務,具有抽取速度快,體積小等優(yōu)點。那么,它是如何工作的呢?
它的工作原理主要分為兩個部分。
一是加熱部分,也就是依靠加熱器將靶材或者坩堝內(nèi)的固態(tài)物質(zhì)升溫至高溫,使其迅速揮發(fā),形成高溫蒸汽。
二是抽氣部分,即利用泵體內(nèi)的擴散機構對高溫蒸汽進行抽取,通過下游系統(tǒng)的管道將氣體排出去,達到真空效果的一個過程。
在高真空擴散泵中,加熱部分的作用主要是將靶材或者其他固態(tài)物質(zhì)進行升溫,在這個過程中,固態(tài)物質(zhì)逐漸變成氣態(tài),再通過抽氣部分將其抽出,形成高速、高質(zhì)量的高溫氣體流。這樣,不斷循環(huán)操作下去,就可以逐漸將被抽空的空間變成高真空環(huán)境。
高真空擴散泵的抽氣部分,主要是通過內(nèi)部某種特殊組織結構下的氣體擴散增加泵的抽氣速率和吞吐量。其抽氣原理是:在泵內(nèi)形成氣體流動,在其裝置內(nèi)形成高速氣漿,并將其中的分子輸送到吸附表面。通過高真空環(huán)境則會在表面上發(fā)生吸附,在高溫蒸汽的作用下,吸附的過程將得到逐漸解除。這里的能量轉(zhuǎn)換方式通過氣體的擴散和移動形成。而其抽氣器結構則是合理地根據(jù)上述原理設計而來,通過抽氣器的擺動或旋轉(zhuǎn)等技術手段,可以將這些吸附在泵內(nèi)表面上的氣體分子重新?lián)]發(fā)并抽出,裝置出口處形成的真空環(huán)境得到維護和保持。
總之,高真空擴散泵通過上述加熱和抽氣原理,不斷地將被抽空的空間內(nèi)的氣體逐漸排出,不斷加深真空度,形成了一種非常高質(zhì)量的真空環(huán)境。而其依靠加熱裝置和抽氣裝置相關結構相互作用,則有了更為的抽取效率和迅速響應能力,也成為各個領域的必裝設備。