想要使用好真空快速退火爐,那您必須掌握這些知識點
更新時間:2021-07-13 點擊次數(shù):3937
真空快速退火爐采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO控制系統(tǒng),實現(xiàn)了爐膛自動左右移動,爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后,直接移動到右側(cè)樣品區(qū)域,實現(xiàn)樣品快速升溫,樣品加熱到設(shè)定溫度和時間后,爐膛自動移開樣品加熱區(qū),實現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實現(xiàn)了真空系統(tǒng)開啟、保護(hù)氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協(xié)調(diào)控制,而且還能自動平衡爐管內(nèi)的壓力大小,真正實現(xiàn)了操作方便,而且安全可靠。
真空快速退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫(yī)療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護(hù)氣氛控制下進(jìn)行連續(xù)光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。處理后產(chǎn)品表面光潔、不氧化、不脫碳。具有生產(chǎn)效率高、能耗低、污染少、操作使用方便,勞動強度低等優(yōu)點。
產(chǎn)品特點:
1、 紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷;
2、加熱由功率控制而非電壓控制,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到初的熱處理效果;
3、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,冷壁設(shè)計,雙層不銹鋼;
4、反應(yīng)腔室的設(shè)計,氣體的進(jìn)入口設(shè)計在wafer的表面,避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生。很好的了樣品在加熱過程中的均溫性;
5、快速數(shù)字PID控溫;
6、熱電偶設(shè)計上采用中間和邊緣安裝模式,測試的樣品的溫度,控溫;
7、大氣和真空工藝均適合,凈化氣體配針閥;
8、多3工藝氣體,配數(shù)字質(zhì)量流量控制器;
9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度;
10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計,用于小樣品測試;
11、可選配分子泵,用于高真空測試;
12、可選配雙腔體設(shè)計, 達(dá)到高潔凈工藝,避免交叉污染。